超精密加工设备研发和生产现状及对策多级泵
时间：2022/07/13 16:46:29 编辑：
2016-10-22 18:54:30来源： 贤集网
我国数控超精密加工设备产业化方面存在以下不足：各单位各自为战，自主研发能力相对薄弱；功能部件发展滞后，对外依存度高，尚未形成较为齐全的专业化配套体系；缺乏超精密基础元部件及加工设备设计、制造专业化标准；设备精度保持性、运行可靠性及可操作性较差；设备的控制软件及系统开发能力较弱等。
为此，在今后超精密加工设备的研发和产业化生产中，应从以下方面加以关注：
（1）重视超精密加工设备功能部件的研发，形成专业化的配套体系。超精密车床、超精密磨床等超精密加工设备是利用主轴、导轨以及控制系统等超精密基础元部件的精度保证零件的加工精度，对于此类设备研发的关键是超精密基础元部件及其集成技术。国外超精密基础元部件都有专业的生产厂商，如英国Loadpoint公司专业生产超精密主轴、超精密导轨，德国Hyprostatik公司专业生产液体静压主轴、液体静压导轨以及液体静压丝杠等基础元部件，这些产品已经形成系列化、标准化。
国内虽然具备了超精密基础元部件研制和生产能力，精度指标也达到了国外产品的水平，但在模块化、系列化、标准化等方面还存在差距，目前国内没有一家专业化生产厂家。国内生产的电机、编码器、光栅及多轴运动控制卡等在性能及可靠性等方面与国外存在较大差距，目前国内研制的超精密加工设备，检测及电控元器件基本依赖进口。应继续加强超精密基础元部件的研发和生产能力建设，建立模块化设计及生产的标准，在国内形成超精密基础元部件专业配套生产厂家，为超精密加工设备的产业化生产提供支撑。
（2）注重超精密加工设备的设计、建立制造及检验标准，提高工程化水平。除了关注超精密加工设备关键技术的攻关，也应重视设备的可使用性设计，例如超精密车床的金刚石刀具对刀系统、在线动平衡系统，确定性研抛设备的工件误差在位测量系统等，这些部件除了有利于设备精度的提高，更多的是提高超精密加工设备的效率及增加操作的便利性。此外在设备的外观造型设计及设备噪音控制等人性化设计方面更应符合满足操作者的舒适性需求。
在目前技术水平下，超精密加工设备尚存在制造误差、驱动误差、联动误差、伺服匹配误差、受热变形、受力变形、非对称刚度、数控精度等误差来源，使零件加工轮廓不能完全与设计轮廓重合，表面粗糙度也体现各类频率误差的存在。随着超精密机床轴系的增多和精度的提高，一方面需要新的设备精度测量表征方法和检测检验手段；另一方面也可以逆向进行超精密加工设备的精度表征。为此，必须有一整套超精密设备制造技术规范与检验检测标准等，这样才能正确评价超精密加工设备的精度，实现对超精密加工设备的各类需求。
（3）将超精密加工工艺与设备相结合，为用户提供一体化的解决方案。国外超精密加工设备解禁以后，国内高校、民企和相关国防领域各工业部门陆续引进了大量的各类超精密加工设备，但是真正能充分发挥。